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真空石英腔体等离子体石英腔
等离子体石英腔是一种石英材料制成的封闭腔室,内部常常充满等离子体气体。等离子体是一种高温、高密度的气体,由带正电荷的离子和带负电荷的电子组成,具有导电性能。这种石英腔可以用于等离子体物理研究、等离子体加工技术以及材料表面改性等领域
技术规格参数:腔体材质:铝合金+石英玻璃腔体尺寸:内径mmx深MM腔体容积:2.5L腔体观察窗:内径φ35石英玻璃腔体抽气口:KF16
腔体进气口:6MM卡套腔体真空度:机械泵小于等于0.5Pa