真空高低温探针台厂家
KT-ZT-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。
1．腔体材质：不锈钢
2．上盖开启：铰链侧开
3．加热台材质：不锈钢
4．内腔体尺寸：φx90mm
5．观察窗尺寸：Φ70mm
6．加热台尺寸：φ60mm
7．观察窗热台间距：75mm
8．加热台温度：--℃
9．加热台温控误差：±1℃
10．真空度：机械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa
11．允许正压：≤0.1MPa
12．真空抽气口：KF25真空法兰
13．气体进气口：3mm-6mm卡套接头
14．电信号接头：SMA转BNCX4
15．电学性能：绝缘电阻≥0MΩ介质耐压≤V漏电流≤-10次方安培
16．探针数量：4探针
17．探针材质：镀金钨针
18．探针尖：10μm
19．X轴移动行程：30mm±15mm
20．X轴控制精度：≤0.01mm
21．Y轴移动行程：13mm±12.5mm
22．Y轴控制精度：≤0.01mm
23．Z轴移动行程：13mm±12.5mm
24．Z轴控制精度：≤0.01mm
25．显微镜类别：物镜
26．物镜倍数：0.7-4.5倍
27．工作间距：90mm
28．相机：sony高清
29．像素：※像素
