BTF-C-II-OP-R多功能回转CVD系统
导语
BTF-C-II-OP-R多功能回转CVD系统是贝意克推出的一款代表产品。设备采用集成化设计，两个温区可独立控制，最高使用温度可达度，广泛应用于科研院所和高端制造领域。
一设备特点：
1、此款设备提供一个双温区的温场，两个温区可独立控制。
2、保温材料采用氧化铝纤维防尘处理，炉膛可开启。
3、加热元件采用硅碳棒，最高使用温度可以达到度，使用寿命长，温场流场均匀。
4、采用触摸屏和工控电脑自动控制，参数设置和操作直观方便，参数自动记录保持。
5、设备集成化设计、以及集成化管理，美观方便。
二设备组成：
1、加热系统：
该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID参数，无须操作人单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，适合中低温度加热系统。
高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求。
2、炉管转动系统：
炉管转动系统可以让炉管°匀速转动，转速在0-60r/min连续可调，且能在60r/min转速下长时间运行。管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀。
3、供气系统：
供气系统是一种可控制3种气体按不同流量进气的装置，浮子流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。
4、真空系统：
真空系统内部安装机械泵1台，电阻真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。
三加热主体设备技术参数：
1、石英腔体尺寸：中间外径?*端头外径?60*长度mm
2、刚玉腔体尺寸：φ60*mm
3、炉膛保温材料：氧化铝纤维
4、表面温度：≤60℃
5、加热元件：硅碳棒
6、加热区数量：2区，独立控温
7、加热区长度：+mm
8、最高温度：℃
9、长时间使用温度：≤1℃
10、控温精度：±1℃
11、建议升温速率：≤10℃/min
12、热电偶型号：S型
13、金属密封法兰：磁流体密封法兰
14、控制器：可编程控温仪表，PID调节，升、降保温全自动
15、控温方式：人机界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表和软件实现双控，采用模糊型PID控制。
16、无纸记录：内置存储记录运行工艺数据，外接USB接口可以电脑连接一键拷贝数据。
17、设备功率：10KW
18、设备工作电源：ACV(L+N+PE)2P63A空开3x6mm2
四3路供气系统参数：
连接头类型：双卡套不锈钢接头。
流量计类型：浮子流量计（3个），量程可选
最大压力：3MPa
接口：Φ6
内外双抛不锈钢管：Φ6
压力真空表：－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格
截止阀：Φ6卡套接头
五真空系统参数：
真空系统内部安装机械泵1台，电阻真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。
1、技术参数：
空气相对湿度：≤85%
工作电电压：V±10%50~60HZ
功率：1千瓦
抽气速率：10m3/h
实验真空度：5.0X10-1Pa
容油量：1.1L
进气口口径：KF25
排气口口径：KF25
转速：rpm
噪音：50dB
2、真空计参数：
配用规管：ZJ-52T电阻规
测量范围：～10-1Pa
测量路数：1路
控制范围：5×～5×10-1Pa
控制方式：继电器触点输出，负载能力ACV/3A(或DC28V/3A)无感负载
电源：90-V/50Hz或V±10%50Hz
功耗：20W
