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产品推荐BTF1400CIIOP

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BTF-C-II-OP-R多功能回转CVD系统导语

BTF-C-II-OP-R多功能回转CVD系统是贝意克推出的一款代表产品。设备采用集成化设计,两个温区可独立控制,最高使用温度可达度,广泛应用于科研院所和高端制造领域。

一设备特点:

1、此款设备提供一个双温区的温场,两个温区可独立控制。

2、保温材料采用氧化铝纤维防尘处理,炉膛可开启。

3、加热元件采用硅碳棒,最高使用温度可以达到度,使用寿命长,温场流场均匀。

4、采用触摸屏和工控电脑自动控制,参数设置和操作直观方便,参数自动记录保持。

5、设备集成化设计、以及集成化管理,美观方便。

二设备组成:

1、加热系统:

该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID参数,无须操作人单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,适合中低温度加热系统。

高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。

2、炉管转动系统:

炉管转动系统可以让炉管°匀速转动,转速在0-60r/min连续可调,且能在60r/min转速下长时间运行。管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀。

3、供气系统:

供气系统是一种可控制3种气体按不同流量进气的装置,浮子流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。

4、真空系统:

真空系统内部安装机械泵1台,电阻真空计1套,并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀,卡箍等连接部件。

三加热主体设备技术参数:

1、石英腔体尺寸:中间外径?*端头外径?60*长度mm

2、刚玉腔体尺寸:φ60*mm

3、炉膛保温材料:氧化铝纤维

4、表面温度:≤60℃

5、加热元件:硅碳棒

6、加热区数量:2区,独立控温

7、加热区长度:+mm

8、最高温度:℃

9、长时间使用温度:≤1℃

10、控温精度:±1℃

11、建议升温速率:≤10℃/min

12、热电偶型号:S型

13、金属密封法兰:磁流体密封法兰

14、控制器:可编程控温仪表,PID调节,升、降保温全自动

15、控温方式:人机界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪表和软件实现双控,采用模糊型PID控制。

16、无纸记录:内置存储记录运行工艺数据,外接USB接口可以电脑连接一键拷贝数据。

17、设备功率:10KW

18、设备工作电源:ACV(L+N+PE)2P63A空开3x6mm2

四3路供气系统参数:

连接头类型:双卡套不锈钢接头。

流量计类型:浮子流量计(3个),量程可选

最大压力:3MPa

接口:Φ6

内外双抛不锈钢管:Φ6

压力真空表:-0.1~0.15MPa,0.01MPa/格

截止阀:Φ6卡套接头

五真空系统参数:

真空系统内部安装机械泵1台,电阻真空计1套,并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀,卡箍等连接部件。

1、技术参数:

空气相对湿度:≤85%

工作电电压:V±10%50~60HZ

功率:1千瓦

抽气速率:10m3/h

实验真空度:5.0X10-1Pa

容油量:1.1L

进气口口径:KF25

排气口口径:KF25

转速:rpm

噪音:50dB

2、真空计参数:

配用规管:ZJ-52T电阻规

测量范围:~10-1Pa

测量路数:1路

控制范围:5×~5×10-1Pa

控制方式:继电器触点输出,负载能力ACV/3A(或DC28V/3A)无感负载

电源:90-V/50Hz或V±10%50Hz

功耗:20W



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