气体质量流量控制器MFC怎样选型

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气体质量流量控制器,简称MFC(MassFlowController的缩写),常用做工业生产、测试分析、科学实验等过程中的精准控气装置。从技术路线来讲,主流气体质量流量控制器有热式和层流压差两种。气体质量流量控制器怎么选型,主要基于工况、性能等因素。

介质,需要测控的气体。气体质量流量控制器通常可测控的气体为干净、单一的纯净气体(如氮气、氧气、空气等)或混合气体。目前,大多气体质量流量控制器可测控单一气体,而易度层流压差原理气体质量流量控制器同时可测控混合气体。

选型时需要明确测控的气体是哪种,确认所选气体质量流量控制器是否可测控该气体。如果是强腐蚀型气体(如氯气、氨气等)、易爆型气体(如氢气、甲烷等),则需要选择防腐蚀型或防爆型气体质量流量控制器。

压力,是气体质量流量控制器选型时非常重要的一个参数,通常气体质量流量控制器可测控的气体为低压气体,压力在2MPa以下。

用户选型气体质量流量控制器需要确定入口压力、出口压力和工作压差,入口压力是气体流通进入气体质量流量控制器前的压力,出口压力是气体流出气体质量流量控制器后的压力,工作压差是入口压力和出口压力之差。选型注意要点是气体质量流量控制器最大工作压力要大于入口压力,工作压差要在气体质量流量控制器可选的工作压差范围内。

温度,包含介质温度和环境温度。用户需要明确知道被测介质的实际温度和气体质量流量控制器所处的工作环境温度。易度气体质量流量控制器的介质温度范围为-50℃~℃,环境温度范围为-40℃~50℃。

流量,即最小流量和最大流量。这个流量指的是标况流量,也就是标准状况下的流量,标准状况指的是一定压力(通常为一个大气压.kPa)和温度(通常为0℃、15℃、20℃或25℃)下的工况。

确定流量范围后,选型气体质量流量控制器的满量程一定要大于或等于最大流量,测控范围覆盖最小流量和最大流量之间的范围。通常讲的多大流量的气体质量流量控制器,指的就是气体质量流量控制器的满量程流量。

精度,即最大误差。目前,气体质量流量控制器常见的精度为1.0%,更高的精度有0.5%,较差的有1.5%。但是,同样1.0%精度,也有F.S.(满量程精度)和S.P.(设定值精度)的区别,其中S.P.(设定值精度)更好。

选型气体质量流量控制器除了确定精度数值之外,也需要确认需求是设定值精度或满量程精度。另外,多数气体质量流量控制器在量程范围内,不同流量段精度不同,如气体质量流量控制器在1%~%量程工作范围内,20%~%量程区间精度为±1.0%S.P.,1%~20%量程区间精度为±0.2%F.S.。所以,选型气体质量流量控制器还需确认精度保证范围,以确保满足实际需求。

重复性,即在相同的测量条件下,对同一被测控的量进行连续多次测量所得结果之间的一致性。易度气体质量流量控制器可实现±0.2%F.S.重复性精度,高精型可实现±0.1%F.S.重复性精度。

通讯方式,即通过什么通讯信号来操作气体质量流量控制器实现控制流量的目的。通常通讯方式有模拟信号控制(如4-20mA、0-5V等)或数字信号控制(如RS、Profibus等)。

易度气体质量流量控制器为了满足高校实验室方便操作的需求,特别开发了触摸屏操作的方式,可在面板上进行流量设定、介质切换等操作。

管路连接,即接口、连接方式和管径,根据气体管路的材质、密封性、管径等要求,有快插接头、VCR接头、卡套接头和法兰等。

安装方式,大多气体质量流量控制器要求水平或竖直安装,易度气体质量流量控制器可实现任意角度安装。

用户确认以上信息,基本可以完成常规气体质量流量控制器的选型。结合工况,如有特殊要求,如响应速度、压损、温漂、压漂等,可根据气体质量流量控制器产品性能描述,与工程师进行更深入的沟通。



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