洁净高纯气体定义
对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况(如温度、压力等)都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”(纯度、干燥度、洁净度)，还没有一个严格而明确的概念。对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或等于99.%，含水量小于5ppm气体。”日本把微电子生产中所采用的气体，按其不同的品位，具体分为下列几个不同的档次：
1.超高纯气体：气体中杂质总含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。
2.高纯气体：气体中杂质总含量控制在5ppm以下，水份含量控制在3ppm以内。
3.洁净气体：气体中杂质总含量控制在10ppm以下，对水分含量未作严格规定。
高纯气体管道气体管道工程组成部件
1、管道组成件(管子、阀门、管件、法兰、补偿器、密封垫片、紧固件、膨胀接头、挠性接头、耐压接头、耐压软管、疏水器、过滤器、分离器等)、
2、管道支承件包括安装件(吊杆、弹簧吊架、斜拉杆、平衡锤、松紧螺栓、支撑杆、链条、导轨和锚固件以及负荷式固定件，如鞍座、底座、滚柱、托架和滑动支座)
3、附着件(管吊、吊耳、卡环、管夹、U形夹、紧固夹板和裙式管座)，以及管道的焊接材料(焊条、焊丝、焊剂、保护气体)等应按管道系统配套按工期要求供货，满足施工进度。其他材料如玻璃钢、橡胶、塑料、油漆、隔热(保热或保冷)材料、防水材料、防腐材料等，能保证按工期要求供货。
实验室气路系统主要由气源切换系统、管道系统、调压系统、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易燃易爆气体，如氢气、乙炔等，可能在设计和施工过程中稍有差异，必须加入气体回火防止器等安全控制装置。
洁净气体管道洁净气体管道规格
AP管(AnnealedandPickledPipe)酸洗、禁油管，一般管材通过酸洗、禁油处理，达到去除油垢，污渍后保持管壁清洁状态。
MP管粗糙度：Ra≤2.5μmMP管(MechanicallyPolishedPipe)机械抛光管，一般禁油管经过机械抛光加工，使其管壁表面粗糙度降低，达到光滑，清洁效果。
BA管粗糙度：Ra≤0.4μmBA管(BrightAnnealedPipe)光亮退火管不锈钢管经过光亮退火工艺，使管壁达到光亮效果。
EP管粗糙度：Ra≤0.4μmEP管(ElectroPolishedPipe)电抛光管通过化学电解抛光，使管壁达到明亮、滑顺、洁净效果，能提升表面抗腐蚀性。粗糙度：Ra≤0.2μm
高纯气体供气系统气瓶间布局高纯气体供气系统气瓶间布局
1.由于存放的气体由于有可燃性气体和助燃气体，按国家规定必须分库存放。分别放入不同的气瓶间内。
2.气瓶间内设立一次调压面板，其中二托一面板带吹扫铜镀铬面板4套。
3.压力调节器入口前需加装烧结金属过滤器以防止颗粒等杂质污染系统。
4.所有面板均配备吹扫阀，可实现对面板的清洗置换。
5.压力调节器及相关管件均需牢固的固定在压力调节面板上，面板应设计的紧凑而合理，以尽量减少系统中的死体积。
6.压力调节面板应采用全不锈钢材料制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，确保其安全性。
7.气瓶间内存放的气瓶采用带防倒链的气瓶支架固定，气瓶支架坚固耐用、美观大方。气瓶支架采用铝合金制作而成。
8.气瓶间内的气体钢瓶与压力调节器之间采用SSL高压金属软管连接无渗透。高压软管为柔性软管，以保证连接的方便性。并自导防护钢缆，预防极端情况下，钢瓶阀损坏等现象带来的高压“抽鞭”事故。压力调节器与管道的连接方式为双环卡套。
9.高压软管上的钢瓶接头必需与钢瓶角阀的规格相匹配，以确保连接的可靠性。
10.排空气路应分类收集、固定牢固并排放至室外安全地点。
