二维材料生长转移系统

#二维材料#

是维SHIWEI二维材料生长转移系统是二维材料快速可控合成生长、异质结器件构筑制备科学实验的专用工具,该系统是实现二维材料CVT真空化学气相输运快速可控合成生长、转移堆叠以及范德华异质结材料器件制备的专用工具,通过二维材料CVT真空化学气相输运快速的快速可控生长、可视化状态下精确转移堆叠,实现范德华异质结材料器件的高效快速制备、工艺研究和物性调控。该系统目前已被众多科研院所、高校和企业工艺研发应用,发表多篇文章和专利成果。

二维材料异质结晶体管

是维SHIWE二维材料生长转移系统可快速可控合成生长高质量二维材料、转移堆叠形成性质各异的2DvdWHs,为探索丰富多样的物理效应和新奇的物理现象提供了可靠稳定的平台工具。是维SHIWE二维材料生长转移系统广泛用于包括二维材料及器件研究、半导体材料器件、传感器材料及器件、新型电子器件、隧穿晶体管、光电检测器、忆阻器和磁存储单元等,在半导体集成电路、微电子、材料、物理及交叉学科科学研究和新材料器件工艺研中应用广泛。

先进二维材料电子器件

关于是维SHIWEI二维材料生长转移系统

SHIWEI是维二维材料生长转移系统主要由高真空CVT化学气相输运合成生长系统及高精度多功能二维材料转移平台两部分组成。

是维SHIWEI高真空CVT化学气相输运合成生长系统采用CVT原理(CVT法/化学气相传输法/化学气相运输法)能快速合成生长制备高性能性能二维材料,目前被广泛采用,该方法既可高质量晶体生长,又可利用化学可逆反应在不同温度下反应朝不同方向进行而生长高性能二维材料,具有设备简单、成本低效率高、生长温度低和晶体质量高的突出特点。CVT化学气相输运合成生长二维材料

是维SHIWEI二维材料转移平台主要由高清显微系统、高精度三维转移台、真空吸附加热集成样品装置等部分组成,该系统可用于在超净化环境下、惰性气氛或者真空环境中转移堆叠制备二维材料器件,并可扩展与手套箱、蒸发镀膜仪、匀胶机、掩膜板对准平台等扩展组合联用。满足二维材料生长、湿法转移、干法转移及非大气环境转移等操作。

SHIWEI是维高真空CVT化学气相输运合成生长制备系统要包括高真空封管机和高温双温区管式炉两部分组成,原料被石英管抽真空封管后在高温炉管式炉中生长制备目标材料。该系统可与CVD、二维材料转移平台等无缝兼容共同使用。该系统可以满足块体、粉末、薄膜等样品真空(保护气氛下)生长制备,广泛适用于二维材料(0D/1D/2D),半导体材料,光电材料,传感器材料,热电材料,能源材料,金属材料,纳米材料,磁性材料,超导材料等材料生长制备,已经被全球众多高校、科研院所和企业使用,特别是材料实验,科学研究和先进材料研发等领域,成为众多先进材料实验研发的必备专用仪器。

SHIWEI是维高真空封管机主要适用于对材料样品在石英试管中真空环境状态下(或保护气氛下)完成封管;在试管预抽真空后,试管管壁材料经高温熔融并在外部大气压的作用下和管内石英柱体融接在一起而形成真空密封。该系统可密封的试管材料可以是普通的硼酸盐玻璃也可以是石英玻璃,设备可通过变换不同的卡套连接各种外径的试管。试管在真空密封过程中的旋转速度可以在一定的范围内进行调节,方便配合不同管径试管和焊枪的使用。封管机自带放气和充气装置。双温区高温管式炉:控制系统国际领先,具有安全可靠、操作简单、控温精度高(PID控制)、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可通气氛抽真空(选配)等特点,主要用于高性能材料制备,材料的预烧、烧结、镀膜、高温热解低温沉积(CVD)、CVT工艺等。可应用于高等院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。

1.1.是维SHIWEI高真空CVT化学气相输运合成生长制备系统采用一体式结构,由高真空封管机和高精度开启式双温区管式炉组成,完成高性能晶体材料的快速高效化学气相输运生长制备,也能扩展作为CVD使用。

1.2.封管机真空漏率:2x10-9Pa·m3/S(经氦质谱捡漏);

1.3.可密封石英管管径/长度:Φ15,Φ20mm等/-mm;

1.4.可密封石英管壁厚:1-2mm

1.5.封管状态:竖直/水平

1.6.可密封对象:固体/液体/气体,包括块体、薄膜、粉末、液体和器件等;

1.7旋转速度:0-20r/min可调;

1.8.真空接口:KF16/KF25

1.9.充气接口:6-8mm;

1.10.电源:V/V±5%,50Hz;

1.11.专用水焊机产气量:标准L/H,最大L/H;

1.12.专用水焊机火焰最高温度:约℃,同时能兼容扩展高温等离子真空封管功能。

1.13.真空测量:进口全量程真空计

1.14.高真空分子泵真空机组:分子泵和真空计采用进口品牌,材料样品转移装置(与净化手套箱配合使用);电火花真空检测仪;真空管接头;高纯石英管等;

1.15.充气压力测量:真空大气正负压力表

1.16.双温区管式炉:炉管尺寸Φ50*mm/Φ60*mm/Φ80*mm/Φ25*mm。

1.17.封管机主机尺寸:**mm;

1.18.高温区管式炉,加热原件:电阻丝。加热区长度:mm/mm。恒温区长度:mm/mm。

1.18.工作温度:≤1℃。最高温度:℃。控温方式:分段独立温控+PID智能化可编程控制。恒温精度:±1℃。炉门结构:开启式。额定功率3.5KW。外型尺寸:**mm。炉膛尺寸:Φ**2mm。仪器净重:约50Kg

2.是维SHIWEI高精度多功能二维材料转移平台

SHIWEI是维高精度多功能二维材料转移平台主要有显微系统、高精度三维转移台、真空吸附加热集成样品装置等部分组成,该系统既可用于在超净化环境下、惰性气氛或者真空环境中转移堆叠制备二维材料器件,也可在大气环境下使用,并可与CVT化学气相输运合成生长制备系统,匀胶机,高精度掩膜板对准平台等扩展组合联用。满足二维材料湿法转移、干法转移及非大气环境转移等操作。通过二维材料转移系统可进行二维原子晶体材料转移堆叠器件制备,实现高性能电子器件性能表征和工艺应用研究。

1.显微转移操作平台:

a.四轴可调衬底载物平台:样品台通过钢丝滚珠无间隙导轨提供直线移动,三轴可调;支持沿XY方向平移,行程13mm,测微丝杆控制系统分辨率0.mm;绕z轴手动调节旋转最大±90°,测微器精细调节,行程5°,调节精度1°左右;绕x轴和y轴倾斜台,调节方式手动转轮,台面厚度20mm,倾斜角度±3°。

b.衬底载物平台加热系统:样品台加热最高温度为℃,使用PID温度控制器,温度控制稳定性小于±1℃,带加热开关。

c.四轴可调载玻片移动平台:载玻片XYZ三轴可调,80mm高稳定性不锈钢台面,行程25mm,测微丝杆控制;样品送入手动旋转台,台面直径mm,粗调旋转范围°,细调旋转范围±5°,定位精度1~2°;

d.支持真空自动吸附样品,确保转移过程中目标样品位置精确固定。真空泵电磁阀控制,按钮控制是否吸附样品;真空泵:50L/min流量;

e.转移平台的样品载物台(底座),能够固定对接对准平台,方便拆卸和安装,便于操作;

2.显微成像光路系统:

a.单筒显微镜:变倍比1:6.5,变倍范围0.7X-4.5X,标准工作距离90mm,分辨率63-lp/mm,95mm超长工作距离20倍物镜,综合最大放大倍率~倍;

b.白色LED照明:同轴照明系统,选用高亮度单颗1WLED,色温K,照明均匀;LED照明控制器90V-V宽电压,1WLED控制器,可调光;

c.显微相机:彩色CCD相机;x高灵敏度CMOS传感器,30fps速度保存;支持HDMI相机直接输出到显示器(本设备不附带电脑);曝光时间0.4ms~ms,自动白平衡;支持WIFI数据传输;提供显微相机操作软件,支持电脑控制,可软件测量显微样品尺寸及角度;工作温度-10~50摄氏度。

d.显微观察支架:高稳定性铝型材支架,长宽高mm*80mm*80mm,支持沿xy方向50mm行程,大范围调节显微镜观察位置;

e.显示器:全高清专业显示器,支持顺时针旋转90度。

f.带高精度稳定性光学精密减震底座。

g.带有其他支持及辅助附件等。

是维SHIWE二维材料生长转移系统功能特点及优势

高真空CVT化学气相输运合成生长制备系统高精度多功能二维材料转移平台

操作例证

二维材料湿法和干法转移

部分用户案例

专注材料合成生长,聚焦器件构筑制备

是维SHIWEI



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